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宏基高新材料为尖端制造产业, 提供超细颗粒高纯等静压石墨 及 SiC、TaC 涂层整体解决方案.
宏基高新材料为半导体、 光伏、 新能源出行航空航天等、
对极限环境稳定性有严苛要求的领域,研发生产高性能材料产品。

高纯等静压石墨|高纯度・高密度・高强度

宏基新材料以石墨产品最高水准的等静压结构为核心,依托卓越的热学、
依托卓越的热学、电学特性,及精密加工稳定性,广泛应用于尖端制造工艺的核心部件。

特征

  • 高纯度
    通过精准控制杂质含量并实施高纯化处理,产品可完美适配半导体工艺严苛要求
  • 高密度 & 高强度
    采用CIP成形工艺,搭配3000℃石墨化炉处理,确保产品具备超高密度与高强度性能。
  • 热稳定性
    即便在高温、骤热、急冷的极端环境下,仍能保持优异的耐久性。
  • 低热膨胀
    在精密工艺场景中,具备极佳的尺寸稳定性。
  • 化学稳定性
    可稳定适配酸、熔融态物质、碱、金属等多种复杂化学环境。

应用领域

  • 半导体
    • - MOCVD / EPI / ALD 设备
    • - 离子注入 · CMP · 刻蚀
  • 太阳能
    • 干锅,热场
  • 电火花及磨具
    • 放电加工电极,高精密磨具
  • 高温炉
    • 高温炉热场,隔热部件,热压模具
  • 工业及一般用途
    • 真空,化学设备用部品,高温治具类

产品构成册

HK500

广泛应用于 光纤制造、工业用高温炉以及单晶制造等领域。

HK550

主要应用于 碳化硅 (SiC) 单晶生长、单晶硅和 SiC 涂层。

HK600

广泛应用于光纤制造、工业用高温炉以及单晶制造等领域。

HK660

应用于碳化硅 (SiC) 单晶生长、单晶硅以及 SiC 涂层等领域。

HK680

广泛应用于 光纤制造、工业用高温炉以及单晶制造等领域。

HK690

主要应用于 碳化硅 (SiC) 单晶生长、单晶硅和 SiC 涂层。